I henhold til produktionsmetoden kan siliciumnitridprodukter opdeles i reaktionsintringsprodukter, varme presserende produkter, atmosfæriske sintringsprodukter, isostatiske presseprodukter og reaktion genfirende produkter. Blandt dem er reaktionsintring en meget anvendt metode til produktion af ildfast siliciumnitridprodukter.
Metoden til reaktions -sintring gør det muligt at opnå produkter fra siliciumnitrid ved at trykke eller isostatisk trykning af fint malet siliciumpulver (partikelstørrelsen overstiger normalt ikke 80 μm), tørring af den grønne krop, opvarmning til 1350-1400 grad i nitrogen og nitridering i processen med stege. I denne produktionsmetode har råmaterialets forhold, ristningsprocessen og atmosfæren en stor indflydelse på produktets ydelse.
Siliciumpulver indeholder mange urenheder, såsom Fe, CA, Al, Ti osv. Fe betragtes som en katalysator i reaktionsprocessen. Det kan fremme diffusionen af silicium, men på samme tid kan det forårsage defekter såsom porer. Fe's vigtigste rolle som et tilsætningsstof: den kan fungere som en katalysator i reaktionsprocessen og fremme dannelsen af en SiO2 -oxidfilm på overfladen af produktet; Form et jernsiliciumsmeltesystem, og nitrogen opløses i flydende FESI2, hvilket bidrager til dannelsen af -Si3N4. Men hvis jernpartiklerne er for store eller for høje, vises defekter såsom porer i produktet, hvilket reducerer dens ydelse. Generelt er mængden af jern tilsat 0-5%. Urenheder som Al, Ca og Ti danner let lav eutektik med silicium. En passende mængde tilsætningsstoffer kan fremme sintring og forbedre produktydelsen.
Jo finere partikelstørrelsen af siliciumpulveret er, jo større er den specifikke overfladeareal og jo lavere skyde temperatur. Sammenlignet med større siliciumpulver indeholder finere siliciumpulver mere -Si3N4 i produktet. Reduktion af partikelstørrelsen af siliciumpulver kan reducere den mikroskopiske porestørrelse i produktet. Et passende partikelstørrelsesforhold kan øge produktets densitet.
Temperaturen har en stor indflydelse på nitrideringshastigheden. Nitrideringsreaktionen starter ved en temperatur på 970-1000 grad, og reaktionshastigheden accelereres ved en temperatur på ca. 1250 grad. I den høje temperaturstadium, fordi det er en eksoterm reaktion, kan det, hvis temperaturen hurtigt overstiger smeltepunktet for silicium (1420 grad), siliciumstrømning, og stærke siliciumpulveremner vil smelte og kollapse.
